FMSZ真空步進電機升降臺:我們開發(fā)的FMSZ系列真空步進電機升降臺。經過特殊設計,方便與我們的其余產品搭建成多維位移臺。承載高,并可定制其它行程。搭配FMC01系列控制器。
FMSXXY170Z-200-200直線電機龍門雙驅平臺:我們研發(fā)的?理石龍門雙驅位移臺,雙向重復定位精度可達亞微米級。行程、精度、承載均可定制。采用雙驅結構,同步性更好、承載更高。Y軸可掛載Z軸。結合CCD等器件,可做成套設備交付客戶使用。
FMSXY系列步進電機二維掃描臺:我們研發(fā)的?體化步進二維位移臺。控制器可內置。雙向重復定位精度和微步能力*。結構小巧,易于配套集成。可配標準FMC01系列控制器應用,也提供SDK給客戶做?次開發(fā)。
FMSXY系列直線電機中空二維掃描平臺:我們開發(fā)的此款?維掃描位移臺,采用了直驅技術,速度快,精度高,承載?。非常適合于需要?維運動的設備和應?。配合菲克科技的高性能控制器能實現:位置記憶,位置觸發(fā),任意平?圖形導?。適合與顯微鏡?起使?,同時提供配套附件,可用于市?上?多數顯微鏡。
FMSXY系列直線電機二維掃描臺:我們開發(fā)的整體?維位移臺,應用于?些特殊應?場合。亞微?級精度,?體化設計,高可靠性,可用于各種需要?維運動的場合。配合FMC04控制器使?,具有微動,高速,低速等特性。
FMSZ-C系列直線電機升降臺:我們的直線電機垂直升降臺,可選擇恒力彈簧配重和氣缸配重兩種版本。特別適用于對尺寸有特殊要求,且對Pitch,Yaw要求嚴苛的應?場合。在高精度檢測、精密實驗室基本建設等應用環(huán)境下,FMSZ-C系列升降臺具有結構簡單且擁有優(yōu)秀的微步能力和位置穩(wěn)定性的特點。
FMSZ65C-08直線電機升降臺:在有限空間中,設計出高精度的Z軸位移臺,?直是位移控制領域?大難點。針對空間極其有限、精度要求苛刻的特殊應用場景,我們推出了FMSZ65C-08升降臺。采用氣缸配重,直線電機+交叉滾柱導軌結構,自適應負載的情況下實現±0.1μm極限雙向重復定位精度。
FMSZ120S-H超高精度伺服升降臺:在?些高精度應用場合,升降臺需要斷電自鎖。針對此應用,我們開發(fā)了FMSZ120S-H系列升降臺,采用進口C3等級絲杠+高精度SP級導軌。我們的品控要求與裝配工藝造就該系列產品體積小,速度快,精度高的特點。光柵尺有絕對值編碼器版本(-HA)可供選擇。
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